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超凈工作臺的使用是一個要求很精準(zhǔn)很嚴(yán)格的過程，所以在規(guī)劃時首先要了解所規(guī)劃的潔凈室凈化工程的用途、使用情況、生產(chǎn)工藝特點等、比如規(guī)劃的是集成電路生產(chǎn)用潔凈室凈化工程等。
1、了解試驗過程性質(zhì)，比如說生產(chǎn)工藝特點；
2、了解試驗對凈化效果有哪些要求，比如空氣潔凈度等級、溫濕度控制范圍、以及其它環(huán)境要求數(shù)據(jù)等；
3、充分了解采用的生產(chǎn)工藝、工藝設(shè)備情況和對工藝布局；
4、確認超凈工作臺各區(qū)的工作效能，確認各類生產(chǎn)工序(房間)的空氣潔凈度等級和各種參數(shù)——溫度、相對濕度、壓差、微振動、高純物質(zhì)的純度及雜質(zhì)含量；
5、挑選潔凈室凈化工程的氣流流型并進行凈化空調(diào)體系的初步估算及規(guī)劃確認；
6、進行潔凈廠房的平面安置、空間安置，此時要安排好產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)的合理布局，要充分適應(yīng)試驗流程，保證產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境有利于操作、管理，節(jié)約能源。
在超凈工作臺空間規(guī)劃時應(yīng)分考慮產(chǎn)品生產(chǎn)過程和潔凈室凈化工程內(nèi)各種管線、物流運送的合理安排。在確認平面、空間安置后，對凈化工程涉及的各個專業(yè)內(nèi)容、工藝的相關(guān)問題都要注意。
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